北京航空航天大学集成电路科学与工程学院12英寸晶圆传输模块部件 | |
项目所在采购意向: | 北京航空航天大学2024年5至12月政府采购意向 |
采购单位: | 北京航空航天大学 |
采购项目名称: | 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院12英寸晶圆传输模块部件 |
预算金额: | 670.000000万元(人民币) |
采购品目: | A02052499其他真空获得及应用设备,A02052404真空系统附件,A02052403真空检测设备,A02052401真空获得设备,A02052402真空应用设备 |
采购需求概况: | 拟采购用于12英寸晶圆传输模块的关键真空设备零部件一批,设备零部件包含半导体前端模块,真空泵组,定制真空传输腔体,真空密封件,真空计,阀门、晶圆台、校准机构、机械臂、晶圆定位传感器、流量计、客制化软件控制系统以及辅助支撑部件等。 |
预计采购时间: | 2024-09 |
备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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